一．概述：
无氧烤箱晶圆封装无氧箱，无氧化烘箱，在工作时，工作室内充满了惰性气體(tǐ)CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧化烘箱在工业中的用(yòng)途：IC包装，LCD,晶體(tǐ)管，传感器，二极管，石英晶體(tǐ)振荡器，混合集成電(diàn)路板……
二．产品技术参数
1.名称及型号：双工作腔无氧烤箱 AO-2DSL FCNET（支持 ONET-240 网络联机功能(néng)）
2、主要技术指标：
2.1工作尺寸：W1000*D500*H610*2 mm
2.2電(diàn)源：380V 3φ 50HZ 18KVA
2.3含氧量控制要<= 100PPM。
2.4温度范围： RT（室温）+60～ +300℃；
2.5温度均匀度：±1.5%;
2.6升温速率：室温～250℃，45分(fēn)钟(空箱测试)。（客户工艺高温度300℃）
2.7风冷降温：100 分(fēn)钟内降温可(kě)从250℃达到 70℃
3、箱體(tǐ)结构：
3.1烘箱由箱體(tǐ)部分(fēn)、電(diàn)器控制柜部分(fēn)、電(diàn)加热及风道系统部分(fēn)组装而成，结构合理(lǐ)，外观美观大方；
3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢電(diàn)热产生器，防机台本身产生微尘；
3.3箱體(tǐ)材料：外箱采用(yòng) SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理(lǐ)后两层防光面涂装烤漆，可(kě)防止微尘；
3.4内胆材料：采用(yòng)进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘 烤时产生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用(yòng)进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊 密封加工(防污染)。
3.6保温材料：硅酸铝棉；
3.7夹层降温：夹层风冷降温
4、温控系统
4.1控制器采用(yòng)二合一PLC触摸屏控制两个腔體(tǐ)独立运行，随时切换。
4.2温度测量：采用(yòng)特制锴装铂電(diàn)阻；
4.3氮气控制系统：有(yǒu)双流量计的智能(néng)控制氮气系统。
5、完善的安全保护措施：漏電(diàn)断路器//超温保护//欠相保护//马达过载電(diàn)流保护//机台异常蜂鸣器警示
